电子束

1.最后利用电子束蒸发技术制备了薄膜样品，样品的光谱性能完全能够满足使用要求。

2.为实现电子束曝光机扫描场的线性畸变校正，设计了图形发生器的成像系统，该系统包括硬件和软件两部分。

3.本文用电子束蒸发的方法在K9玻璃上制备了azo薄膜。

4.在圆形硅基底上采用电子束加热蒸发制备了二氧化钛薄膜。

5.本论文利用电子束蒸发方法制备氧化钨、氧化镍薄膜的基础上，研究了热处理工艺对于薄膜电致变色性能的影响。